Halbleiter-Quarzrohre
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Durch die Kombination von sehr hoher Reinheit mit hervorragenden Hochtemperatureigenschaften ist der Quarzglasschlauch von Momentive ein ausgezeichneter Kandidat für den Einsatz in Öfen zur Verarbeitung von Siliziumwafern. Halbleiter-Quarzrohre wurden entwickelt, um die verschiedenen thermischen Gradienten und Hochtemperaturextreme des Halbleiterherstellungsprozesses zu tolerieren. Eine hohe Reinheit und strenge Maßkontrolle von Quarzglasrohren in Kombination mit der präzisen Prozesssteuerung von Momentive kann Halbleiterherstellern hohe Ausbeuten in ihren eigenen Prozessen bieten.
Weitere Informationen Halbleiter-Quarzrohre
Halbleiter-Quarzrohre sind von Momentive in einer Vielzahl von Durchmessern und Wandstärken erhältlich. Der niedrige -OH -Gehalt (Hydroxyl) ermöglicht es den Halbleiterquarzschläuchen von Momentive, den breiten thermischen Gradienten und chemischen Umgebungen standzuhalten, die in der Halbleiterherstellung üblich sind.
Für Halbleiterschläuche stehen folgende Typen zur Verfügung:
214, 214SC und 214LD
- Kleine und direkt gezogene oder in der Größe geänderte Industriestandard-Schläuche nach Industriestandard 214
- Überlegene Leistung bei erhöhten Temperaturen
224 und 224LD
- Alkaliarme Quarzrohre für Anwendungen mit höheren Reinheitsanforderungen
244 und 244LD
- Quarzrohre mit niedrigem Alkali- / Niedrigem Aluminiumgehalt
Mögliche Anwendungen:
- Halbleiter-Wafer-Verarbeitung
- Solarwafer-Verarbeitung
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